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LEVIFLOW®のSemi F40/F57準拠抽出テスト (英)

キーワード:
  • 流量センサ
  • マイクロエレクトロニクス
  • 粒子の脱落

事実
フローセンサーの濡れた表面が酸性化学物質にさらされると、微量金属が浸出する可能性があります。微量金属による汚染は、半導体デバイスの電気的特性の変化を引き起こす可能性があります。

試験条件
フローセンサーLFS-20およびLFS-80をUPWで満たします。使用したUPW中のすべての金属、反応性シリカ、および陰イオン不純物のレベルを測定しました。

結果
両方のセンサーについて、すべての測定レベルはSemi F40/F57の基準の範囲内でした。.

Author M. Reutz, R. Braitmayer
Company ATU GmbH
Document Number 0910 066
Pages 3