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マイクロエレクトロニクス

マイクロエレクトロニクスのデバイス構造の複雑化、微細化が進むにつれ、薬液を使用するプロセスへの要求はより厳しくなってきます。半導体、太陽光発電、LEDの様々な分野の異なるプロセスをカバーするために、様々な異なる材料が必要です。繊細な材料を高清浄度で安全かつ高信頼性で供給する事は極めて重要です。

Levitronix®は、20年以上にわたり、マイクロ
エレクトロニクス業界に製品を提供しています。
高清浄度のポンプシステム、ミキサー、
流量計を世界中の半導体デバイスメーカーに提供し、
微細なウエハ処理に使用されています。

プロセスの概要

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プロセス

マイクロエレクトロニクス

薬液供給
CMPスラリー供給
ウェット洗浄
メッキプロセス

製品

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マイクロエレクトロニクス用ポンプ

超高純度ベアリングレスポンプ

マイクロエレクトロニクス用ポンプ (溶剤)

帯電防止ベアリングレスポンプシステム

マイクロエレクトロニクス用ポンプ (高温)

水冷却ベアリングレスポンプ

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マイクロエレクトロニクス用ポンプ (第1世代)

超高純度ベアリングレスポンプ

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マイクロエレクトロニクス用流量コントローラ

超高純度ベアリングレス流量コントローラ

マイクロエレクトロニクス用インライン形超音波流量計

PFAインライン形超音波流量計

マイクロエレクトロニクス用クランプオン流量計

PFAチューブ用の非侵襲超音波流量センサ

マイクロエレクトロニクス用ポンプタンクミキサー

同時に圧送と
ミクシング

マイクロエレクトロニクス用昇圧ユニット

ターンキー昇圧ユニットと制御

マイクロエレクトロニクス用ファン

化学的耐性ベアリングレスファン