Levitronix® PTM
マイクロエレクトロニクス
ウェットプロセス向け
混合とポンプの
役割を両立可能

Levitronix®ポンプタンクミキサー (PTM) は、要求の厳しいマイクロエレクトロニクスのウェットアプリケーション用に設計されています。PTMは一つのユニットで混合および圧送を結合した動作を行います。インペラはモータの磁場によって浮上し、駆動します。広いギャップにより可動部品間の機械的接触が存在せず、摩耗がないことを保証します。摩耗、消耗するベアリングやシールは存在しません。
PTMヘッドにはインペラ、ケーシングボトム、フランジが付属しています。Levitronix®は、ケーシング蓋の設計仕様を提供し、ユーザはタンクとPTMをシームレスに統合することができます。すべての材料は化学抵抗力がある、高純度のフッ素樹脂から製造されます。

Levitronix® ポンプタンクミキサー
(PTM) は、半導体のウェット
プロセスとして、製品の歩留まりを
改善する様々な利点を提供します。
PTM: 紹介ビデオ
利点

1つのシステム
PTMは単一の装置で混合およびポンプの役割を結合し、
両方の機能を持たせることによって
製品効率を高めています。

ミキサーとポンプの結合

スラリーと繊細なめっき液に最適
機械的なベアリング、狭いギャップ、裂け目、
デッドゾーンなどの不在、および滑らかな接液部表面は、
繊細な液体に低いストレスでの処理を可能にします。

低せん断設計

業界経験による証明 – 最も清浄なポンプミキサー
インペラーとポンプヘッドケーシングの間に機械的な
カップリングがないため、摩耗がなく、実質的に
パーティクル発生はありません。

超清浄加工

混合時間の節約
電子速度制御は、速度パターンをカスタムできることにより
混合時間を短縮するのに役立ちます。

電子速度制御

脈動のない正確で、安定した、信頼できるフローおよび圧力
オープンポンプヘッド設計、高流量分解能、遠心ポンプの
原理、バルブの不在などは脈動のないフローを実現し、
フィルターパフォーマンスを向上させます。

脈動のない流量

流量性能に悩まされることのない – 非常に正確な流量と圧力
PTMは、可変速度と高い解像度により、広い動作範囲上に
おいて、流量または圧力の正確な制御を可能にします。

高い制御性およびワイドな流量レンジ

非常に高い信頼性
摩耗するベアリングやシールがなく、装置の稼働時間、
プロセス機器の寿命を延ばし、メンテナンスコストを
削減します。

非常に長いMTBF (>100年)

エアー駆動ポンプよりもかなり小さい
機械的なベアリングの欠如と、ポンプとモータを高度に
組み合わせ統合した設計は、フットプリントを大幅に
削減し、限られたスペースでの設置を可能にします。

省フットプリント

スマートマニュファクチャリングのためのスマートミキサー
Levitronix®PTMは、予測メンテナンスと工場全体の
システム統合に最適な、高性能データ取得を可能にします。

スマートミキサー

性能曲線
性能曲線
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