BPS-2000大流量型 マイクロエレクトロニクス用
ウェットプロセス向け
超高純度ベアリングレスポンプ

最大流量 140 l/min
最大圧力 0.42 MPa
最高流体温度 90° C
接液部品材質 PFA

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Levitronix® BPS-2000大流量型ポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。インペラとケーシングは耐薬品性の高純度フッ素樹脂で作られています。流体の流量と圧力は、インペラの回転速度を電子的に調整することにより、正確に制御されます。

性能曲線
性能曲線
利点

業界実績より証明 – 半導体製造 (およびそれ以降) で
最も超高純度ポンプ!

インペラとポンプヘッドケーシングの間に機械的な
接触がないため、摩耗がなく、パーティクルの発生も
理論上、事実上ありません。

極めて低い粒子脱落

エア駆動ポンプより大幅に低い
Levitronix®ポンプの接液面積は、
同等のエア駆動ポンプの数分の1です。

金属汚染が非常に少ない

非常に高い信頼性
摩耗するベアリングや故障するシールがないため、
機器の稼働時間が長くなり、プロセス機器の寿命が延び、
メンテナンスコストが削減されます。

非常に長いMTBF (>100年)

プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力
オープンポンプヘッド設計、高流量分解能、遠心ポンプの
原理、バルブの不在などは、脈動のない流量を実現し、
フィルターパフォーマンスを向上させます。

脈動のない流量

エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
ポンプとモーターの高度に統合された設計と
機械的なベアリングがないことにより、設置面積が大幅に
削減され、限られたスペースに設置できます。

省フットプリント

スラリーと繊細なめっき液に最適
機械的なベアリング、狭いギャップ、亀裂、デッド
ゾーンがなく、滑らかな表面をしているので、
敏感な液体の穏やかな処理が可能となります。

低せん断設計

流量スロットルが不要 – 非常に正確な流量圧力
Levitronixポンプは、可変速度と高分解能により、
広い動作範囲で流量または圧力を正確に制御できます。

高い可制御性と最高の流量レンジ

数ml/minから最大流量まで
BPSシステムは、わずか数ml/minから最大流量までの
スムーズな流れを正確に制御および維持し、
競合するポンプの中で最高のターンダウン比を実現します。

最高のターンダウン率

フィードバックループを作れます
流量計または圧力センサをポンプシステムに統合し、
フィードバックループを作成して、目的のプロセス条件を
自動制御できるようにします。

統合PIコントローラ

25年以上の経験
Levitronix®ポンプは、バイオ医薬品製造など、他の非常に
要求の厳しい産業でもしっかりと技術確立され、
実績と経験を積んでいます

長い歴史

スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
BPSポンプは、予知保全と工場全体のシステム統合に
理想的な高性能データ取得を可能にします。

データ取得とデータ監視

エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
インペラとポンプケーシングの磁気カップリングは、振動を
実質的に発生させることがなく、非常に静かな動作を
もたらします。

低騒音と低振動

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