LFSC-23D.1 超音波クランプオン
マイクロエレクトロニクス用
ウェットプロセス向け
流量測定(PFAチューブ)

流量レンジ 0 – 80 l/min
精度 ±2.0% RD
チューブ外径 1″
流体温度 10-90°C

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LEVIFLOW® LFSC-23D.1クランプオンセンサは、PFAチューブ用における正確で非侵襲流量測定用に設計されています。センサハウジングに取り付けられた2つのピエゾトランスデューサが超音波を発生、受信し、フローが存在する場合、流れと同方向の波が加速され、流れと反対方向の波が減速します。この通過時間の差が流体の速度に比例することを利用して流量を測定します。

利点

非侵襲測定
可動部品がないので、摩耗がなく、
パーティクル発生もありません。

超清浄流体に最適

クランプオン、クランプオフ。
センサは完全に非侵襲的で、数秒で設置できます。

完全に非侵襲的

高精度と再現性 (指示値)
20-80 l/min: ±2%読み取り精度 (RD)
<20 l/min: ±400 ml/min読み取り精度 (RD)

高精度流量測定

最大120°Cの液体温度
センサーは完全に非侵襲的で、高温の液体に最適です。

高温測定に最適

ハイボリュームなアプリケーションへの対応
ハイボリュームなアプリケーションの場合、マルチチャネル
コンバータが利用可能で、1つのコンバータで最大6センサを
処理できます。センサ信号はRS485の2線式バスか
PLCインターフェイスを介して利用でき、ケーブル配線、
フットプリントおよび費用を削減できます。

複数センサ用6チャネルコンバータ

スマートデジタル信号処理
流量コンバータは、デジタルシグナル
プロセッサ (DSP) を使用し、気泡が
存在する場合でも正確な流量測定を行えます。

気泡に対するロバスト性の向上

非常に正確な流量制御。
LFSC-Dクランプオン流量計は、
Levitronix® BPSポンプに接続すると、
正確な流量コントローラーとなります。

Levitronix®ポンプへの接続

スマートセンサ
フルスケール、総容積、気泡検出、高流量アラームなどの
様々なパラメータが提供可能で、Levitronix®サービス
ソフトウェアで設定することができます

設定可能な流量センサパラメータ

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