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LFS: マイクロエレクトロニクス向け超音波式高精度流量計

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LEVIFLOW®インライン流量センサは、超高純度液体の高精度流量測定用に設計されています。2つのピエゾ圧電変換器が超音波を発信・受信します。 流れが存在する時、流れ方向の超音波は加速され、流れに逆らう超音波は減速されます。伝送時間の差は流体の速度に比例します。この測定方法は完全な非侵襲性で、超高純度液体に最適です。接液部は高機能プラスチック樹脂で完全な密閉構造となり、非常に高い耐薬性があります。さらに、高温アプリケーション用のセンサもご提供可能です。LEVIFLOW®インラインセンサは、シングルチャネルコンバータまたは最大6個の同時接続に対応するマルチチャネルコンバータに互換性があります。低流量から高流量まで、超純水から反応性の高い薬液まで、LEVIFLOW®インラインセンサはあなたの収率改善に貢献します。

Levitronix® – better sensors for better yield!

Company Levitronix Japan株式会社