半導体製造工場では、ウェハ製造に関連する多くのプロセスをカバーするために、大量の様々な薬液が必要です。超純水やプロセス用の薬液は、通常、広域供給システムでサブファブから各装置へ供給されます。 しかし多くの場合、これらの供給システムは限界点で動作しています。既設装置での消費増、または設備の拡張を行うと
ユースポイントでの圧力不足や変動を起こす可能性があるため、プロセス効率を脅かし、歩留まりを低下させる可能性があります。Levitronix^® Leviboost^™は、常に適切な圧力を供給するように設計されています。超高純度ベアリングレスポンプと圧力センサで構成されるLeviboost ™ は、正確かつダイナミックな圧力制御を実現するターンキーソリューションです。

コンパクトかつ統合された設計により、階下設置や既設の供給ラインへの組込が容易です。パワフルな昇圧を可能にするだけでなく、供給圧を能動的に監視かつ制御することによって、変動を抑制します。これにより、ユースポイントでの十分かつ安定した圧力を実現できます。超純水から各種薬液まで、Leviboost^™ はあなたの収率の改善に貢献します。

Levitronix^® – Better pumps for better yield!