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BFS – Exhaust Pressure Boosting and Control
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BFS – Chamber Cross Talking
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BFS: マイクロエレクトロニクス向け耐薬磁気浮上ファンシステム
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Conference Recordings
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Dr. Ivana Ferstera, Levitronix: Comparison of Particle Shedding from Different Fan Technologies for ISO Class 1 Environments
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マイクロエレクトロニクス

Stefan Zuercher, AP&S: Enhancing Wetbench Performance for Si Wet Etching Under Exhaust Limitations via Levitronix® BFS Integration
Conference Recordings
マイクロエレクトロニクス

Dante Gonzalez, NexGen: Mitigating Chamber-to-Chamber Exhaust Cross-talk via Closed-Loop Fan Control in Single-Wafer Wet-Processing Equipment
カンファレンスペーパー
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Dr. Ivana Ferstera, Levitronix: Comparison of Particle Shedding from Different Fan Technologies for ISO Class 1 Environments
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