Levitronix® BFS

내화학성 자기부상 팬

Levitronix® BFS는 반도체 제조의 다채롭고 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다. 자기 부상을 기반으로 팬 임펠러는 모터의 자기장에 의해 부상하고 동작합니다. 동작 부품 간의 넓은 간격으로 마모가 발생하지 않고, 파티클을 생성하지 않아 가장 깨끗한 팬이 됩니다. 임펠러와 스테이터는 완벽하게 밀폐되어 있어 내화학성이 우수하며, 방폭용으로 사용 가능하도록 인증 되어있습니다.

Levitronix® BFS는 반도체 공정에 차별화된 이점을 제공하여 제품 수율 향상에 도움을 줄 수 있습니다.
thumbnail-video-bfs-fan-system BFS Fan System
장점

반도체 제조에서 (반도체 이외의 다른 산업에서도) 가장 깨끗한 팬
팬 헤드 케이싱과 임펠러 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을
생성하지 않습니다.

가장 깨끗한 팬

유독가스 대한 강한 내구성
임펠러와 스테이터는 완벽하게 밀폐되어 있어
유독물질에 대한 내구성이 뛰어납니다.

내화학성

ATEX/ IECEx 인증
BFS는 ATEX/ IECEx 인증을 받았으며 가스의 경우 ATEX Zone 1 영역, 먼지의 경우 ATEX Zone 21영역 내에
설치가 가능합니다.

방폭 인증

최대 40 m3/min
임펠러가 부양된 상태에서, 최고 7400 rpm의
속도로 고 유량을 제공할 수 있습니다.

높은 유량 범위

파티클 발생 저감
기계적인 베어링이 없으므로,
팬 고장율이 현저히 낮습니다.

유지보수 비용 절감

설치 공간과 케이블 연결 작업이 현저히 감소
모터와 펌프 컨트롤러가 드라이버 하우징에 통합되어 설치 공간이 크게 줄어듭니다.

통합 전자 시스템

Ncm3/min에서 최대 유량까지
BFS는 수 Ncm3/min부터 최대 유량까지 균일하고 정확한 유량의 제어 및 유지를 할 수 있어 가장 높은 턴 다운 비율을 제공합니다.

가장 높은 턴 다운 비율

장비 가동률 증가
마모 및 파손이 일어날 수 있는 베어링과 씰이 없어 장비 가동시간이 크게 증가합니다. 이로 인하여 공정 장비의 수명을 연장시키고 유지 보수 비용을 절감할 수 있습니다.

매우 긴 수명

센서 피드백 컨트롤
유량 또는 압력 센서를 펌프 시스템과 연동하여, 원하는 공정 조건을 자동으로 유지할 수 있도록 피드백
루프를 사용해 보세요.

통합 유량 및 압력 컨트롤러

기존 팬보다 현저히 작은 설치 공간
BFS는 기존 유사 성능의 경쟁 팬보다 현저히 작은
설치 공간을 제공합니다.

작은 설치 공간 & 저 진동

팬 성능곡선
팬 성능곡선
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