Facts
연동 펌프와 4-피스톤 다이어프램 펌프는 튜브의 압축 또는 밸브의 동작과 같은 부품 간의 기계적 접촉을 기반으로 동작합니다. 동작 부품 간의 기계적 접촉은 파티클을 발생시켜 제품의 오염을 유발할 수 있습니다. Levitronix® 펌프는 동작 부품 간의 기계적 접촉 또는 마찰이 없습니다.
Test conditions
Levitronix® PuraLev® 600SU 펌프, 4-피스톤 다이어프램 펌프, 그리고 연동 펌프의 파티클 유출에 대한 평가를 진행하였습니다. 정해진 양의 DIW를 각각 16 lpm & 1.5 및 2.5 bar의 압력 조건하에서 순환시켰습니다. 일정 시간 후 각각의 파티클 수준을 측정 및 비교하였습니다.
Results
연동 펌프와 4-피스톤 다이어프램 펌프는 PuraLev® 600SU 펌프보다 2~3배 더 큰 파티클 수준을 보였습니다. 동작 조건에 관계없이 Levitronix® 펌프 후단의 파티클 농도는 측정된 기준 샘플의 수준과 유사했습니다.
16 lpm & 2.5 bar에서의 누적 파티클 사이즈 분포
반도체 프로세싱 
바이오 프로세싱 
펌프 
유량 컨트롤러 
유량 센서 
믹서 
팬 
압력 부스터 
공정 제어 기기 
