용적식 펌프(다이어프램 또는 벨로우즈 펌프)에 의해 생성된 높은 전단력의 유량은 큰 사이즈의 파티클 분포를 증가시켜 CMP 공정 중 웨이퍼 표면 결함 (스크래치 또는 거칠기 변화 등)을 크게 증가시키는 반면, 자기 부상(MagLev) 원심 펌프에 의해 순환되는 슬러리에서는 결함 발생이 현저히 줄어드는 것이 확인되었습니다.
AuthorF.C. Chang et. al.
CompanyUniversity of Florida
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