Facts
펌프에 의해 발생된 압력 및 유량의 맥동은 액체의 불연속적인 배출을 통하여 수격 현상을 발생시킵니다. 다공성 미세 멤브레인 필터에서 발생되는 수격 현상은 필터에서 파티클의 필터링 효과를 저하시키며 필터링 되지 못한 파티클로 인하여 웨이퍼 결함을 일으킬 수 있습니다.
Test conditions
Levitronix® 펌프, 벨로우즈 펌프 및 다이어프램 펌프에서 기인된 맥동이 필터의 성능 유지 및 파티클 필터링 성능에 미치는 영향을 비교했습니다. 3 종류의 각각 다른 멤브레인 필터가 사용되었습니다. 필터 성능에 대한 효율은 각 필터의 125nm 파티클 사이즈에서 로그 감소 값(LRV)으로 표시됩니다.
Results
압력 맥동은 필터의 종류와 상관없이 필터의 성능 유지에 부정적인 영향을 미칩니다. Levitronix® 펌프는 각각의 테스트 조건에서 가장 안정적이고 균일한 유량을 제공하였으며, 가장 높은 필터 성능 유지 효율을 보였습니다.
압력 맥동에 따른 필터 성능 유지 효율
반도체 프로세싱 
바이오 프로세싱 
펌프 
유량 컨트롤러 
유량 센서 
믹서 
팬 
압력 부스터 
공정 제어 기기 
