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반도체 Wet 공정을 위한 대전 방지용 고청정 BPS 펌프 시스템

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Levitronix® 대전 방지용 베어링리스 펌프 시스템은 정전기에 대한 탁월한 보호 기능을 제공함과 동시에 다양한 솔벤트의 고청정 처리를 위하여 설계되었습니다. 대전 방지용 펌프 시리즈는 파티클 생성이 없으며, 맥동이 없는 유량 및 낮은 유지 관리 비용과 같은 Levitronix® 베어링리스 펌프 시스템의 모든 장점을 가지고 있습니다. 또한, 전도성 펌프 헤드는 솔벤트 공정에서 최대한 ESD를 방지하기 위해 설계되었습니다. 유체의 마찰로 인해 생성된 전하는 즉시 접지되어 정전기로 인한 위험을 방지합니다. 대전 방지용 펌프는 스테인리스 스틸 또는 전도성 PTFE로 제작됩니다.

낮은 유량부터 높은 유량까지, Levitronix® 대전 방지용 펌프는 수율 향상에 도움을 줄 것입니다.

Company Levitronix