LFSC-06D.1 微电子湿制程应用的超声波夹管式流量测量（PFA 管）

流量范围 0 – 1 l/min

准确性 ±3% of reading

管径（外径） ¼”

流体温度 10-90°C / 50-194°F

LEVIFLOW^® LFSC-06D.1流量传感器专门设计用于使用PFA管道对高纯度液体的非侵入性高精度流量测量。透过两个压电换能器产生和接收超声波。当流量存在时，顺流波加快，逆流波减慢。传播时间的差异与流体的速度成正比。

系统优势

无碎屑颗粒生成
该传感器是完全非侵入性的，因此是超纯液体的理想选择。

轻松夹上和取下
该传感器是完全非侵入性的，可以在几秒钟内安装。

流量>25%FS时读数精度为±3%
流量< 25%FS时±7.5 ml/min

高达 120° C / 248° F
该传感器是完全非侵入性的，因此非常适合高温液体。

适用于大容量应用
对于大容量应用，可选用多通道转换器，单个转换器可以处理多达6个传感器信号。传感器信号可通过RS485两线制总线或PLC接口获取，从而减少布线、占用空间和成本。

智能数字信号处理
该流量转换器包含数字信号处理器（DSP），即使存在气泡，它也能提供精确的流量测量。

高动态流量控制
LFSC-D夹管式流量传感器可连接至Levitronix^®BPS泵系统，以提供精确的流量控制。

智能传感器
提供了各种参数，如满量程、总体积、气泡检测、或高流量报警，并且这些参数都可用Levitronix^®服务软件进行配置。

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