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大批量化学品输送中的水锤现象

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随着半导体制造日益小型化,大批量化学品输送的纯度要求也越来越高。与泵相比,加压容器系统具有灾难性的水锤风险,可能导致颗粒从过滤器释放出来,甚至管路破裂。在本视频中,您将了解水锤是如何生成的,以及在小型化学品输送设置中会达到什么压力水平。

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