초순수 (UPW)

마이크로 일렉트로닉스 제품 제조를 위해서는 고 순도의 탈이온수(DI-Water) 또는 초순수(UPW)가 필요합니다. 물은 웨이퍼 세정 및 rinsing 용도로 주로 사용 됩니다.

UPW의 품질은 그 청정도에 의해 결정되고, 파티클과 같은 오염은 공정에서 매우 critical하며 수율과 직결됩니다. 웨이퍼 칩 구조나 평판 디스플레이와 저장 매체 생산에서 사용되는 웨이퍼 칩 구조가 끊임없이 미세화 됨에 따라 더 높은 청정도가 요구되고 있습니다.

UPW 시스템 – 출처 Christ
UPW 시스템 – 출처 Christ

마모가 발생되는 구동부품과 부속품들 때문에 펌프는 UPW-라인 내부에서 critical한 요소입니다. 이러한 것들 때문에 UPW가 FAB 공급라인이나 공정 장비로 이송이 중단될 수 있습니다. 이러한 각각의 파티클은 웨이퍼 표면을 손상시키거나 얇은 전도성 구조를 단락시킬 수 있습니다.

Levitronix 펌프 시스템(black line)은 그 어떤 첨단 펌프(red, green, pink line)보다 훨씬 적은 파티클이 생성되고, 그 결과로 웨이퍼에 결함을 주는 파티클을 감소시킵니다.

CT Associate, Inc. 데이터
CT Associate, Inc. 데이터

마이크로 일렉트로닉스 분야에서 UPW나 DI-Water 공급 라인의 압력 변화는 제조 장비와 공정에 문제를 야기할 수 있습니다. 정교한 제조 공정은 민감한 내부 장치를 정해진 공정범위 이내로 작동시키기 위하여 매우 일정한 inlet 압력을 필요로 합니다. 결과적으로, 압력의 변동은 공정의 수율을 감소시킬 수 있는 가능성이 있습니다.

유량계나 압력 센서와 결합된 Levitronix 펌프는 선형적인 유량 특성에 기반을 둔 매우 동적이고 정확한 압력 제어기로서, 공급되는 유량의 변화와는 독립적으로 매우 일정한 압력과 유량을 공급합니다.

일정한 유량 – Levitronix 원심 펌프
일정한 유량 – Levitronix 원심 펌프
변동폭이 큰 유량 – Diaphragm 펌프
변동폭이 큰 유량 – Diaphragm 펌프
맥동이 있는 유량 – Bellows 펌프
맥동이 있는 유량 – Bellows 펌프