Leviboost 압력 승압 키트

더 높은 비용 압박과 엄격한 사양

마이크로일렉트로닉 산업 분야에서 UPW, DI-Water, 화학 공급라인 등에서의 압력의 변화는 설비와 공정에 문제를 야기할 수 있습니다. 복잡한 제조 공정에서 예상공정 범위 내에서 민감한 내부 설비의 작동을 지속하기 위해 고도의 지속적인 유입 압력을 필요로 합니다. 그 결과, 압력 변화는 공정 수율의 감소를 초래 할 수 있습니다.

그러나 끊임없이 증가하는 비용의 압박 때문에 매체 공급 시스템은 최대 한계치로 설계되곤 합니다. 추가적인 설비 확장은 종종 불안정한 약액 공급 상황을 초래하곤 합니다. 그 결과, 제어되지 않은 압력의 변화는 사이클 타임을 늘리거나, 프로세스 중단, 심지어 작동 정지의 원인이 되기도 합니다.  결과적으로 비용 상승의 원인이 됩니다.

항상 일정한 압력
항상 일정한 압력
제어되지 않은 압력 변화 그래프의 전형적인 모습
제어되지 않은 압력 변화 그래프의 전형적인 모습

FABS공정상의 심각한 문제점

이러한 도전들에 대응하기 위해, 마이크로 일렉트로닉 제조업체들은 추가적인 약액 처리 인프라에 상당한 투자를 하거나, 또는 기존에 설치된 시스템을 최적화 하려고 합니다.

불행하게도, 현재의 시스템은 높은 파티클 오염을 발생시키고 불안정한 수압을 야기하는 압력 조절 밸브와 같은 수동 부품을 일반적으로 사용합니다.

어떻게 이러한 문제를 해결할 것인가?

압력을 능동적으로 증가시킬 뿐만 아니라 약액 수요에 있어서의 변동되는 압력을 상쇄시킬 수 있도록 수동적인 장비를 사용하지 않고 능동적으로 컨트롤되는 시스템을 사용

그 결과, 아주 정확하고 지속적인 압력이 제공 되어, 여러 대의 공정 장비를 사용하여도 공급 압력이 영향을 받지 않게 됩니다.

LeviBoost 의 기능적 도식
LeviBoost 의 기능적 도식
동적으로 제어되는 압력 그래프
동적으로 제어되는 압력 그래프

작동 원리

압력 변환기는 현재 장비의 유입 압력을 모니터링 하고 펌프 제어기에 실제 값을 전달합니다.  필요한 설정 압력에 기초하여, 자기 부상 및 전자 제어 펌프는 주어진 설정 값으로 약액의 압력을 동적으로 증가시킵니다.

이렇게 함으로써, closed loop 압력 제어 설계는 공급 압력의 변동뿐만 아니라 라인 상에서 공정 설비의 개별 단계에서 사용되는 약액 수요에 의해 발생되는 압력의 변화를 상쇄합니다.