기타 마이크로 일렉트로닉스 적용분야

구체적으로 언급된 적용분야 이외에 아래와 같이 많은 반도체/마이크로 일렉트로닉스 분야에 적용될 수 있습니다.

  • Bulk Chemical Delivery
  • Batch Tool Recirculation
  • Post CMP Cleaning
  • Immersion Lithography
  • Photo Resist Delivery
  • Developer Recirculation

이러한 모든 적용분야에서의 공통 분모는 높은 수준의 청결도, 낮은 파트클 수, 일정한 유량 또는 그에 상응하는 매체의 부드러운 이송이 요구된다는 것 입니다. Levitronix의 혁신적인 원심펌프는 이러한 모든 요소를 포함하며 운용 시 높은 신뢰성과 적은 유지 비용을 제공합니다.

기타 마이크로 일렉트로닉스 적용 분야
기타 마이크로 일렉트로닉스 적용 분야

Levitronix Flow Handling Solution이 갖는 이점

  • 기계적 접촉부가 없기 때문에 파티클이 극도로 적게 발생함. 다른 펌프들과 비교해서 10-50배 적은 입자를 생성하여 wet 공정에서 파티클 오염 문제를 감소시킴
  • 장비 가동 시간의 증가
  • 밸브, 베어링, 회전축, 비용이 많이 드는 수리 부품 등을 없앰으로써 유지보수 비용을 낮출 수 있음
  • 자기 베어링을 포함하고 있는 설계 덕분에 오염위험을 감소시킬 수 있음
  • 낮은 shear 설계로 인해 민감한 유체의 매우 일정한 흐름
  • 파티클이나 미생물이 침투될 수 있는 좁은 틈새와 균열이 없음
  • 압력 맥동이 없는 부드럽고 일정한 유량
  • 전자적인 속도 제어
  • 공압 펌프나 자기-구동 펌프와 비교 하여 컴팩트한 디자인. 더 작은 footprint는 공정 장비 내에서의 귀중한 공간을 절약
  • 의료 및 반도체 산업에서 검증된 기술 (MTBF > 30년)