LEVIBOOST™ 75

최대 75l/min, 최대 20gpm

마이크로일렉트로닉 산업 분야에서 UPW, DI-Water, 화학 공급라인 등에서의 압력의 변화는 설비와 공정에 문제를 야기할 수 있습니다. 복잡한 제조 공정에서 예상공정 범위 내에서 민감한 내부 설비의 작동을 지속하기 위해 고도의 지속적인 유입 압력을 필요로 합니다. 그 결과, 압력 변화는 공정 수율의 감소를 초래 할 수 있습니다

그러나 끊임없이 증가하는 비용의 압박 때문에 매체 공급 시스템은 최대 한계치로 설계되곤 합니다. 그 결과, 우리는 불안정한 약액 공급 시스템, 통제되지 않는 시스템과 공정을 볼 수 있습니다. - LEVIBOOST는 추가적인 인프라의 투자 없이 point-of use(POU)에서의 안정적이고 정확한 압력을 보장합니다.

압력 조절 밸브와 같은 수동 설계 부품들은 어느 정도의 압력 변화에 대응할 수 있지만, 추가적인 압력 손실 및 불필요한 파티클 입자를 생성합니다. - LEVIBOOST는 ± 1.5psi (0.1bar) 이내의 일정한 시스템 압력과 최대 10,000배나 더 나은 파티클 shedding behavior를 제공합니다.

LEVIBOOST™ 75
LEVIBOOST™ 75
LeviBoost 의 기능 도해
LeviBoost 의 기능 도해
동적으로 제어되는 압력 그래프
동적으로 제어되는 압력 그래프

기능

  • 매우 정확하고 일정한 압력
  • 약액 공급 변화에 영향을 받지 않음
  • 약액 수요 변화에 영향을 받지 않음
  • 혁신적인 자기 부상 펌프에 기반을 둔 비접촉 구동으로 파티클이 생성되지 않음
  • 최소한의 Foot Print 필요 – 초소형 sub-floor 설계 가능
  • 유연한 성능 ~1 to 75l/min, ~0.25 to 20gpm
  • 매우 경제적 – 약액 공급 기반 시설에 대한 수정이 필요 없음
  • 서비스와 운용에 대한 글로벌 지원.

유량 /압력 성능 곡선 Leviboost 75

유량 /압력 성능 곡선 Leviboost 75
LEVIBOOST 의 주요 구성 요소
LEVIBOOST 의 주요 구성 요소
LEVIBOOST 의 주요 구성 요소
LEVIBOOST 의 주요 구성 요소

LEVIBOOST 의 주요 구성 요소

검증된 고순도 부품은 긴 수명, 낮은 유지비용, 낮은 파티클 오염 레벨, Plug-and-Play 설치를 보장합니다.

Levitronix 모터

Levitronix 모터
펌프 헤드와 쿨링 모듈 (선택사양)

Levitronix 펌프 제어기

Levitronix 펌프 제어기
동적 유량 제어

압력 변환기

압력 변환기
실제의 토출 압력 데이터

사용자 인터페이스 장치

사용자 인터페이스 장치
작동, 정지, 설정압력, 표시부 와 실제 압력

시스템 상태

시스템 상태
켜짐 : 시스템이 제어 루프에서 작동하고 있음

시스템 경고

시스템 경고
켜짐 : 펌프는 작동되지만 시스템에 주의를 기울여야 하는 상태

시스템 오류

시스템 오류
작동 : 시스템 오류로 인해 펌프가 작동되지 않는 상태