Levitronix® BPS高温ポンプ
マイクロエレクトロニクス用
ウェットプロセス向け
超高純度ベアリングレス
水冷却ポンプシステム

Levitronix® BPS高温ベアリングレスポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷用の冷却ループが付属されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。
インペラとケーシングは耐薬品性の高純度フッ素樹脂で作られています。流体の流量と圧力は、インペラの回転速度を電子的に調整することにより、正確に制御されます。

Levitronix® BPS高温ポンプは、半導体の
ウェットプロセスとして、製品の歩留まり
を改善する様々な利点を提供します。
BPS (高温): 紹介ビデオ
利点

最も清浄なポンプ

業界実績より証明 – 半導体製造
(およびそれ以降) で
最も超高純度ポンプ!

インペラとポンプヘッドケーシングの間に機械的な
接触がないため、摩耗がなく、パーティクルの発生も
理論上、事実上ありません。

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5 gpmおよび40 psigで大型ポンプシステムの下流で測定された粒子サイズ分布

金属汚染が非常に少ない

エア駆動ポンプより大幅に低い

Levitronix®ポンプの接液面積は、
同等のエア駆動ポンプの数分の1です。

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2つのダイアフラムポンプと3つのLevitronixポンプ微量金属抽出の比較

低せん断設計

スラリーと繊細なめっき液に最適

機械的なベアリング、狭いギャップ、亀裂、デッド
ゾーンがなく、滑らかな表面をしているので、
敏感な液体の穏やかな処理が可能となります。

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0.56 µm以上の粒子に対するポンプの影響 (線形スケール)

脈動の無い送液

プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力

オープンポンプヘッド設計、高流量分解能、遠心
ポンプ原理、およびバルブがないため、脈動のない
流れが得られ、それにより超高純度フィルターの
性能が向上します。

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圧力脈動の関数としての保持効率

最大220°Cの液温
高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないように
モータには水冷用の冷却ループが付属されています。

高温用途に最適

流量性能に悩まされることのない – 非常に正確な流量と圧力
Levitronix®ポンプは、可変速度と高い解像度により、
広い動作範囲上において、流量または圧力の正確な
制御を可能にします。

高い制御性と広い流量範囲

非常に高い信頼性
摩耗するベアリングや故障するシールがないため、
機器の稼働時間が長くなり、プロセス機器の寿命が延び、
メンテナンスコストが削減されます。

非常に長いMTBF (>100年)

数ml/minから最大流量まで
BPSシステムは、わずか数ml/minから最大流量までの
スムーズな流れを正確に制御および維持し、
競合するポンプの中で最高のターンダウン比を実現します。

最高のターンダウン率

エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
ポンプとモーターの高度に統合された設計と
機械的なベアリングがないことにより、設置面積が大幅に
削減され、限られたスペースに設置できます。

省フットプリント

スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
BPSポンプは、予知保全と工場全体のシステム統合に
理想的な高性能データ取得を可能にします。

データ取得とデータ監視

エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
インペラとポンプケーシングの磁気カップリングは、振動を
実質的に発生させることがなく、非常に静かな動作を
もたらします。

低騒音と低振動

フィードバックループを作れます
流量計または圧力センサをポンプシステムに統合し、
フィードバックループを作成して、目的のプロセス条件を
自動制御できるようにします。

統合PIコントローラ

25年以上の経験
Levitronix®ポンプは、バイオ医薬品製造など、他の非常に
要求の厳しい産業でもしっかりと技術確立され、
実績と経験を積んでいます

長い歴史

性能曲線
性能曲線
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