事実
Levitronix^®ポンプでは、以前の評価でCMPスラリーにおける大きなパーティクルの発生が観察されず、ベローズおよびダイアフラムポンプは増加する傾向でした。パーティクルが大きいとフィルタが目詰まりし、フィルタの寿命が短くなる可能性があります。

試験条件
Levitronix^®BPS-4、ダイアフラムポンプ、ベローズポンプで、フィルタ寿命の評価をしました。各ポンプを用いて、Cabot Semi-Sperse^® 12スラリー約28.5リットルを約29.5 LPM（7.8 GPM）の流量で循環させ、10” Mykrolis Planargard^® CMP3フィルタを各ポンプの下流に設置しました。フィルタの寿命の相関関係を表すために、各フィルタの圧力降下を監視し比較しました。フィルタの圧力降下が少なくとも0.07 MPa増加するか、10,000回以上のターンオーバーが達成されるまで、テストを継続しました。

結果
ベローズポンプを用いて測定した圧力降下はLevitronix^®ポンプよりも約15倍、ダイアフラムポンプは5倍高い結果となりました。Levitronix^®ポンプは0.07 MPaの圧力降下なしで10,000回のターンオーバーに到達しました。

3つのポンプテストで、各フィルター全体の圧損の増加