LEVIBOOST™ 140

140 l/min 迄の流量

マイクロエレクトロニクスの世界では、超純水や薬液供給ラインの圧力変動が製造装置やプロセスに問題を与える可能性があります。洗練されていく製造工程において、期待されるプロセス条件内に装置の状態を保つために高度に一定な入口圧力を必要としています。結果としていかなる圧力変動もプロセスの歩留まり低下を招きかねません。

絶え間なく増加するコスト圧力により、水処理システムはしばしば限界設計されています。更なる装置の増設はしばしば不安定な給水状況につながります。その結果、制御されていない圧力変動はサイクルタイムの増加、プロセスの中断、又は装置の停止さえも引き起します。LEVIBOOST™は追加工場施設投資なしに、安定した正確な使用点圧力を保証します。

調圧弁などの受動的機器は、有る程度圧力の不安定さを調和させる傾向を持つが、圧力損失とパーティクル脱落の原因となります。LEVIBOOST™は±0.01MPaの一定のシステム圧力を提供し、パーティクル脱落を1/10,000迄向上させます。

LEVIBOOST™ 140
LEVIBOOST™ 140
LEVIBOOSTTM 機能図 (閉ループ制御)
LEVIBOOSTTM 機能図 (閉ループ制御)
グラフはダイナミックに制御された圧力を示す
グラフはダイナミックに制御された圧力を示す

特徴

  • 絶対的に正確で一定な水圧。
  • 供給水量の変動に影響されません。
  • 消費水量の変動に影響されません。
  • 革新的磁気浮上ポンプにより非接触運転でパーティクルの発生は有りません。
  • 超コンパクト設計を要した最小設置面積によりサブフロアへの設置も可能です。
  • 既存の供給システムの改造や変更が不要です。
  • 幅広い流量範囲1~140 L/min。
  • ベスト・コストオブオーナーシップ。
  • グローバルサービスとアプリケーションサポート。

LEVIBOOST™140 性能曲線

LEVIBOOST™140 性能曲線
LEVIBOOST™の主要部品
LEVIBOOST™の主要部品
LEVIBOOST™の主要部品
LEVIBOOST™の主要部品

LEVIBOOST™の標準コンポーネント

高純度立証済のコンポーネントで成り立つ製品は、長寿命かつ低保守費用、低パーティクル汚染レベルを保証します。プラグアンドプレイ方式の製品です。

レビトロニクスポンプ

レビトロニクスポンプ
ポンプヘッドと冷却モジュール (オプション)

レビトロニクスポンプコントローラ

レビトロニクスポンプコントローラ
ダイナミック流量制御

圧力トランスミッタ

圧力変換器
実出口圧力データを提供

ユーザインターフェース

ユーザインターフェース
起動、停止、圧力設定及び実際圧力の表示

システム状態表示

システム状態表示ランプ (緑)
点灯時: 制御ループでシステム運転中

システム警告表示

システム警告表示ランプ (黄)
点灯時: ポンプは運転中であるが、手当が必要

システムエラー表示

システムエラー表示ランプ (赤)
点灯時: システムエラーでポンプは停止中

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