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ダイナミック(動的)流量制御システム

閉ループ流量制御

レヴィトロニクスのポンプコントローラはコントローラハードウェアを追加することなく閉ループ流量制御を実現することができます。レヴィトロニクスはターンキーの解決策を提供することができます。ユーザの流量検出器をレヴィトロニクスポンプシステムへの取付の手伝いも可能です。ターンキーの解決策はすでに開発され、また3mL/分(分解能0.1mL/分)から80L/分(280L/分までスケールアップ可能)迄テストされています。

CMPスラリー、表面処理用化学薬液、めっき液および溶剤などの流体につの経験を積んできました。右に外部超音流量計付きの典  型的なシステムのブロック図を示します。

ダイナミック流量コントローラ:BPSポンプシステムは超音流量計LEVIFLOW™によって制御されます。
ダイナミック流量コントローラ:BPSポンプシステムは超音流量計LEVIFLOW™によって制御されます。