CMPスラリーの応用

スラリー供給システム

BPS-4ポンプシステムおよびPLC通信によって実現したクローズドループの圧力、流量制御および冗長性選択。
BPS-4ポンプシステムおよびPLC通信によって実現したクローズドループの圧力、流量制御および冗長性選択。
混合タンクと流体供給タンク。液面センサーはPLCを介してポンプ-タンク式混合器PTM-4を制御する。
混合タンクと流体供給タンク。液面センサーはPLCを介してポンプ-タンク式混合器PTM-4を制御する。