其它微電子應用

除上述應用外,還被用於其它許多半導體/微電子處理過程,例如:

  • 化學品輸送
  • 溼式製程設備
  • CMP後清潔
  • 浸潤式光刻
  • 光阻劑輸送
  • 顯影劑循環

所有這些應用的共同之處在於它們以下各方面的高要求:潔淨度、低粒子數、連續流量要求或平穩的流體介質傳送需要。革命性LEVITRONIX離心泵符合所有這些要求並為您提供高度可靠和低購置成本的解決方案。

其它微電子應用
其它微電子應用

LEVITRONIX流體處理解決方案給您帶來的益處概覽

  • 因無機械接觸件,極少微粒產生。與其它泵相比,濕法處理製程中的微粒污染降低10-50倍。
  • 延長設備的運行時間
  • 不含閥門、軸承、回轉式密封裝置,減少維護和修復成本
  • 磁力軸承設計,減少污染風險
  • 低剪應力設計,對敏感流體的運送極為平穩
  • 無間隙或縫隙並免微粒子或微生物殘存
  • 平滑、連續流動,無脈動
  • 電子調速
  • 與氣動和磁力驅動泵相比,設計更為精密。節省製程設備中的寶貴空間。
  • 已在醫藥和半導體行業中得到驗證的技術(平均故障間隔時間 > 30年)