LEVIBOOST™ 75使用點增壓元件

最高可達75 l/min | 20 gpm

在微電子學中,對於工具和過程,超純水、去離子水和化學品供給管線內的全域壓力變化可能是一個問題。複雜的製造過程越來越要求進入口壓力高度穩定,以使在敏感的內部工具操作保持在預期過程視窗內。其結果是,任何壓力波動都可能減少過程中的產量。

因為成本壓力不斷增加,介質供應系統時常被設計處於其極限狀態。結果介質供應系統處於不穩定狀態,而且系統和過程不能得到控制 – 而LEVIBOOST™擔保在不額外增加固定設施投資的情況下提供穩定、精準的使用點壓力。

被動式設計物件,例如調壓閥,在一定程度上易於和壓力波動保持一致,然而它們會引起額外壓耗和不可接受的微粒脫落 – 而LEVIBOOST™提供達到± 1.5psi (0.1bar)的系統穩壓,微粒脫落行為可優化10’000倍。

LEVIBOOST™ 75
LEVIBOOST™ 75
LEVIBOOST™功能圖
LEVIBOOST™功能圖
圖形顯示動態控制壓力
圖形顯示動態控制壓力

特徵

  • 絕對精確,水壓穩定
  • 不受供水量變化的影響
  • 不受耗水量變化的影響
  • 對該磁懸浮泵採取非接觸性操作,無微粒產生
  • 最小化尺寸要求 – 超精密設計,可安裝在地板下
  • 操作靈活: ~1 l - 75 l/min, ~0,25 - 20 gpm
  • 非常經濟 - 無需對供水系統進行改造
  • 全球維修與應用支援

LEVIBOOST™ 75的流量/壓力曲線

LEVIBOOST™ 75的流量/壓力曲線
LEVIBOOST™主要物件
LEVIBOOST™主要物件
LEVIBOOST™主要物件
LEVIBOOST™主要物件

LEVIBOOST™主要物件

已得到驗證的高純度物件確保長期使用壽命、低維護要求以及低微粒污染水準。隨插即用型裝置。

Levitronix Motor

Levitronix電機
帶有泵頭和冷卻組件(可選配)

Levitronix Pump Controller

Levitronix泵控制器
用於動態流量控制

Pressure Transducer

壓力感測器
提供實際的輸出壓資料

User Interface

使用者介面
啟動、停止、設定壓力,以及顯示設定的和實際的壓力

System Status
系統狀態
啟動狀態:系統環繞在控制回路中
System Warning

系統警告
啟動狀態:泵在運作,但需對系統加以關注

System Error
系統出錯
啟動狀態:泵在系統出錯的情況下運作