動態流量控制系統

閉迴路流量控制

Levitronix泵控制器無需附加控制器硬體即能實現閉迴路流量控制。為方便起見,Levitronix可提供整套解決方案,也可幫助將您自己的流量探測器同Levitronix泵系統整合在一起。整體解決方案已經開發並在3毫升/分鐘(解析度0.1毫升/分鐘)至80公升/分鐘(可擴大到280公升/分鐘)的流量範圍內進行了測試。

 對於CMP研磨液、表面處理化學品、電鍍液以及溶劑等流體,我們已經積累經驗。下圖所示為一個典型的帶有外部超聲流量計的系統。

動態流量控制器。BPS泵系統由超聲波 流量計LEVIFLOW™控制
動態流量控制器。BPS泵系統由超聲波 流量計LEVIFLOW™控制