客戶應用CMP 研磨液

FAST Modular研磨液供應系統

客戶應用
透過BPS-4泵系統實現並增加PLC通信的閉合環路壓力及流量控制的其他選擇
客戶應用
混合槽和供液槽。液面感測器通過PLC控制泵 – PTM-4槽式混合器。