BPS-3

Levitronix®已研製出一種革命性離心泵,這種離心泵不含易磨損軸承或易破裂的密封裝置。基於磁懸浮原理,葉輪完全懸浮在一個密封箱體內,靠電機的磁場驅動。

葉輪和箱體均由耐化學性高純度碳氟樹脂製成,與轉子磁鐵一起構成泵頭。通過電子調節轉子轉速和消除脈動對流體流速和壓力進行精確控制。

BPS-3流量/壓力曲線圖

BPS-3流量/壓力曲線圖

BPS-3 論述

最大壓差: 2.5 bar 36 psi
最大流速: 75  升/分 20  加侖/分
最大流體溫度: 90 °C 194 °F
濕料: PFA / ECTFE / PVDF / 全氟橡膠
電源電壓: 600 W / 48 V DC

系統效益

  • 與其它泵相比,引起擦傷的微粒減少200-1000倍,從而提高CMP製程良率
  • 由於產生較少的凝膠或是大顆微粒子於CMP循環迴路中,進而延長過濾器壽命15%。
  • 產生的微粒減少10-50倍,從而降低濕製程中的微粒污染
  • 通過消除脈動及精確控制流速和轉子速度,改善和簡化了製程控制
  • 通過減少零件磨損,延長設備運轉時間和降低維護成本
  • 通過提供無堵塞運作,延長設備運轉時間並節約維護成本
  • 極小的外觀尺吋,節省製程設備中的寶貴空間
Levitronix BPS-3
提高良率、降低成本

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