BPS-1
Levitronix®已研製出一種革命性離心泵，這種離心泵不含易磨損軸承或易破裂的密封裝置。基於磁懸浮原理，葉輪完全懸浮在一個密封箱體內，靠電機的磁場驅動。
葉輪和箱體均由耐化學性高純度碳氟樹脂製成，與轉子磁鐵一起構成泵頭。通過電子調節轉子轉速和消除脈動對流體流速和壓力進行精確控制。
Flow/Pressure Curves BPS-1
BPS-1論述
| 最大壓差： | 1.6 bar | 23 psi |
| 最大流速： | 21 升/分 | 5.5 加侖/分 |
| 最大流體溫度： | 90 °C | 194 °F |
| 濕料： | PFA / PVDF / 全氟橡膠 | |
| 電源電壓： | 120 W / 24 V DC | |
系統效益
- 與其它泵相比，引起刮痕的微粒減少200-1000倍，從而提高CMP製程良率
- 由於產生較少的凝膠或是大顆微粒子於CMP循環迴路中，而延長過濾器壽命15%。
- 產生的微粒減少10-50倍，從而降低濕製程中的微粒污染
- 通過消除脈動及精確控制流速和轉子速度，改善和簡化了製程控制
- 通過減少零件磨損，延長設備運轉時間和降低維護成本
- 通過提供無堵塞運作，延長設備運轉時間並節約維護成本
- 極小的外觀尺吋，節省製程設備中的寶貴空間
