BPS-1
Levitronix®已研製出一種革命性離心泵,這種離心泵不含易磨損軸承或易破裂的密封裝置。基於磁懸浮原理,葉輪完全懸浮在一個密封箱體內,靠電機的磁場驅動。
葉輪和箱體均由耐化學性高純度碳氟樹脂製成,與轉子磁鐵一起構成泵頭。通過電子調節轉子轉速和消除脈動對流體流速和壓力進行精確控制。
BPS-1論述
最大壓差: | 1.6 bar | 23 psi |
最大流速: | 21 升/分 | 5.5 加侖/分 |
最大流體溫度: | 90 °C | 194 °F |
濕料: | PFA / PVDF / 全氟橡膠 | |
電源電壓: | 120 W / 24 V DC |
系統效益
- 與其它泵相比,引起刮痕的微粒減少200-1000倍,從而提高CMP製程良率
- 由於產生較少的凝膠或是大顆微粒子於CMP循環迴路中,而延長過濾器壽命15%。
- 產生的微粒減少10-50倍,從而降低濕製程中的微粒污染
- 通過消除脈動及精確控制流速和轉子速度,改善和簡化了製程控制
- 通過減少零件磨損,延長設備運轉時間和降低維護成本
- 通過提供無堵塞運作,延長設備運轉時間並節約維護成本
- 極小的外觀尺吋,節省製程設備中的寶貴空間