Leviboost™ 140

최대 140l/min, 최대 37gpm

마이크로일렉트로닉 산업 분야에서 UPW, DI-Water, 화학 공급라인 등에서의 압력의 변화는 설비와 공정에 문제를 야기할 수 있습니다. 복잡한 제조 공정에서 예상공정 범위 내에서 민감한 내부 설비의 작동을 지속하기 위해 고도의 지속적인 유입 압력을 필요로 합니다. 그 결과, 압력 변화는 공정 수율의 감소를 초래 할 수 있습니다

그러나 끊임없이 증가하는 비용의 압박 때문에 매체 공급 시스템은 최대 한계치로 설계되곤 합니다. 그 결과, 우리는 불안정한 약액 공급 시스템, 통제되지 않는 시스템과 공정을 볼 수 있습니다. - LEVIBOOST는 추가적인 인프라의 투자 없이 point-of use(POU)에서의 안정적이고 정확한 압력을 보장합니다.

압력 조절 밸브와 같은 수동 설계 부품들은 어느 정도의 압력 변화에 대응할 수 있지만, 추가적인 압력 손실 및 불필요한 파티클 입자를 생성합니다. - LEVIBOOST는 ± 1.5psi (0.1bar) 이내의 일정한 시스템 압력과 최대 10,000배나 더 나은 파티클 shedding behavior를 제공합니다.

기능

• 매우 정확하고 일정한 수압
• 약액 공급 변화에 영향을 받지 않음
• 약액 수요 변화에 영향을 받지 않음
• 혁신적인 자기 부상 펌프에 기반을 둔 비접촉 구동으로 파티클이 생성되지 않음
• 최소한의 Foot Print 필요 – 초소형 sub-floor 설계 가능
• 유연한 성능 ~1 to 75l/min, ~0.25 to 20gpm
• 매우 경제적 – 약액 공급 기반시설에 대한 수정이 필요 없음
• 서비스와 운용에 대한 글로벌 지원.